PRODUCT
AUTO TYPE
TM5-3030
TM5-3030
Semi-Automatic Thin Film Measurement System
Automation for Efficient Measurement
TM5-3030은 Semi-Automatic Stage 구성을 기반으로 효율적인 박막 측정과 Pattern Matching 기능을 지원하는 자동화형 시스템입니다.
Specification
| Wavelength | : 350 – 900 nm |
| Measurement Range | : 100 Å – 100 μm* |
| Spot Size | : 40 / 20 μm |
| Stage Size | : Up to 300 × 300 mm |
| Motion | : Semi-Auto |
| Option | : Pattern Matching |