PRODUCT
AUTO TYPE
TM5-5000
TM5-5000
Advanced Semi-Automatic Thin Film Measurement System
Enhanced Resolution for Advanced Measurement
TM5-5000은 TM5 플랫폼을 기반으로 4 μm Spot Size까지 지원하여 보다 작은 영역의 박막 측정에 대응할 수 있고
산업현장에서 진동문제를 해결하기 위해 Anti-Vibration 기능을 추가 한 Semi-Automatic 시스템입니다.
Specification
| Wavelength | : 350 – 900 nm |
| Measurement Range | : 100 Å – 100 μm* |
| Spot Size | : 40 / 20 / 4 μm |
| Stage Size | : Up to 300 × 300 mm |
| Motion | : Semi-Auto |
| Option | : Pattern Matching |
* Measurement range depends on material.