PRODUCT
AUTO TYPE
TMR-1515
TMR-1515
R-Axis Thin Film Measurement System
R-axis motion provides flexible measurement positioning for thin film analysis
TMR-1515는 R축 구동 기술을 기반으로 한 Semi-Automatic 박막 측정 시스템으로, 공정 측정 및 다양한 박막 분석 환경에 대응합니다.
Specification
| Wavelength | : 400 – 800 nm |
| Measurement Range | : 500 Å – 100 μm* |
| Spot Size | : 2 mm |
| Stage Size | : Up to 300 × 300 mm |
| Motion | : Semi-Auto |
| Option | : CMP |