PRODUCT
MANUAL TYPE
TM2-DLx
TM2-2020
Compact Thin Film Measurement System
Compact Size. Precise Measurement.
TM2-DLX는 현미경 기반의 컴팩트한 박막 측정 시스템으로, 작은 샘플 및 웨이퍼 측정에 적합한 수동 측정 시스템입니다.
Specification
| Wavelength | : 400 – 800 nm |
| Measurement Range | : 200 Å – 100 μm* |
| Spot Size | : 40 / 20 μm |
| Stage Size | : Up to 200 × 200 mm |
| Motion | : Manual |
| Option | : 200 mm Stage |