PRODUCT
MANUAL TYPE
TM3-Modular
TM3-Modular
Moduler Thin Film Measurement System
Flexible Configuration for Customized Measurement
TM3-Modular는 측정 환경과 샘플 특성에 따라 시스템을 구성할 수 있는 Non-Focus 모듈형 박막 측정 솔루션입니다.
현미경이 없는 Head 형태의 타입으로서 공정장비에 부착하여 실시간으로 두께 관리가 가능합니다. Spin Coater, Slit Coater, Roll Printer 등 각 종 공정장비에서 PLC와 연결하여 제어가 가능합니다.
Specification
| Wavelength | : 400 – 800 nm |
| Measurement Range | : 500 Å – 100 μm* |
| Spot Size | : 2 mm |
| Stage Size | : Customized |
| Motion | : Manual |
| Option | : NIR Detector |
* Measurement range depends on material.