PRODUCT
HYPERSPECTRAL CAMERA
TMA-HIS
TMA-HSI
Hyperspectral Area Scan System
Large-Area Spectral Imaging and Thickness Mapping
TMA-HSI는 Area Scan 방식의 Hyperspectral Imaging 기술을 활용하여 넓은 영역의 공간 정보와 스펙트럼 정보를 동시에 분석합니다.
위치별 스펙트럼 데이터를 기반으로 박막 두께 및 Mapping 결과를 생성할 수 있습니다.
Specification
| Wavelength | : 470 – 900 nm |
| Measurement Range | : 500 Å – 100 μm* |
| Spot Size | : Area Scan |
| Stage Size | : Up to 300 × 300 mm |
| Motion | : Semi-Auto |
| Option | : Wide Area / Micro Pattern |
* Measurement range depends on material.