현미경이 없는 Head 형태의 타입으로서 공정장비에 부착하여 실시간으로 두께 관리가 가능합니다.
Spin Coater, Slit Coater, Roll Printer 등 각 종 공정장비에서 PLC와 연결하여 제어가 가능합니다.
Specification | ||
치수와 제어 구성 | System size : 220 x 300 x 98 mm | |
Weight:: 10 kg | ||
광학측정 파트(헤드) | Used wavelength range : 400~800nm(option 900~2100nm) | |
Detector: Linear silicon CCD array | ||
측정광원 | Tungsten-Halogen stabilized technical lamp | |
Specification : 12V, 100W | ||
Color temperature : 2,800K | ||
Life Time : Approx 1500hours | ||
측정 포인트 크기 | 27mm (실제 데이터 얻는 부분 2mm) | |
광 파이버 | Choose Wavelength : 300~800nm(option 900~2100nm) | |
Fiber diameter: 200um | ||
Measurable Wavelength range | 400 ~ 800nm (Option:900 ~ 2100nm) | |
Detector (Linear Array Type) | 2048 pixels | |
Fiber | 200㎛ (Core) | |
Theoretical resolution | 1.5 nm | |
Measurement spot size | About 2mm | |
Measurement Material | Transparent Layer | |
Thickness measurement range | 1㎛ ~ 40㎛(depending on materials) | |
Repeatability (1sigma) | 15A at 20,000A (Actual Sample) | |
Repeatability (1sigma) | 10A at 20,000A (SiO2 on Si-Wafer : SRM) | |
(Continuously, Measuring the same point 30 times) | ||
Measuring Speed | ≤ 2sec/ point (Without Moving) | |
Multi-layer measurement | Single layers (Depends on materials) |