Specification |
장비방식 |
자동형
(Auto Type) |
측정 시편 |
비접촉식 |
측정 원리 |
반사량에
근거하여 두께를 측정(Reflectometer) |
특징 |
두께변화량을
실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능 |
Windows 기반의 S/W로 Excel,Origin,MS-Word 등으로 측정 결과
저장 가능 |
다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential,
Sellmeier) |
2D,3D Mapping data Display (point by point) |
Semi-automatic mechanism stage control |
측정 속도 우수, 측정 방법 간편 |
CCD Camera + Auto Focusing + Anti-vibration
table |
크기 |
300 x 300mm (Basic), 370 x 470mm (Option) |
무게 |
400kg |
Stage Size |
~300mm
x 300mm |
Measurement Range |
100Å~
35㎛(Depends on Film Type) |
Spot size |
40㎛/20㎛,4㎛ |
Measurement Speed |
1~2
sec./site(fitting time) |
Application Areas |
All
Capability of ST2000 & More Precision Measurement |
Intended for Large Size Wafer Measure |
Option |
Transmittance
Module |
Reference Sample |
Revolving nosepiece |
Quintuple
Revolving Nosepiecs |
Focus |
Coaxial
Coarse and Fine Focus Controls |
Incident illumination |
12v
100W Halogen Lamp |