PRODUCT
박막두께측정기
ST4000
Reflectometer 방식을 적용하여 시료의 두께를 분석하는 장비입니다.
조각시편부터 12” 웨이퍼까지 다양한 크기의 sample을 측정할 수 있습니다.
옵션으로 370*470 size까지의 glass sample의 측정이 가능하며
시료에 따른 Stage Modify도 가능합니다.
안정적인 두께측정을 원하시는 R&D 및 생산현장에서 적합한 모델입니다.
| Specification | ||
| 장비방식 | 수동형(Manual Type) | |
| 측정 시편 | ≤8", 12" | |
| 측정 형태 | 비접촉식 | |
| 측정 원리 | 반사량에 근거하여 두께를 측정(Reflectometer) | |
| 특징 | 두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능 | |
| Windows 기반의 S/W로 Excel,Origin,MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능 | ||
| 다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier) | ||
| 측정 속도 우수, 측정 방법 간편 | ||
| Stage Size | 200 x 200mm (Basic), 300 x 300mm (Option) | |
| Measurement Range | 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) | |
| Spot size | 40㎛/20㎛, 4㎛(option) | |
| Measurement Speed | 1~2 sec./site | |
| Application Areas | All Capability of ST2000 & More Precision Measurement | |
| Intended for Wafer Measurement & OELD | ||
| Option | Programmable Auto Z Stage | |
| Reference Sample | ||
| Transmittance Module | ||
| Focus | Coaxial Coarse and Fine Focus Controls | |
| Incident illumination | 12v 100W Halogen Lamp | |
| 크기 | 1500 x 610 x 640 mm | |
| 무게 | 45Kg | |